| 型号 | HPS-LCF3000 | 工作距离 | 59mm |
| 量程 | 6mm | 线长 | 13mm |
| X方向分辨率 | 6.3μm | 最大扫描速率② | 35000Hz |
| Z方向可重复性① | 0.15μm | 全量程下扫描速率③ | 5000Hz |
| X方向点数 | 2048 | 镜面下角度兼容性 | ±13.5° |
| 尺寸（宽*高*深） | 384*487.6*105mm | 重量 | 20kg |
| 防护等级（EN 60529） | IP55 | 电源 | 24 VDC，3A |
| 连接方式 | 40G光纤 | 数字量输入 | 光耦输入输出 |
*①该数字为3σ值，是在我司无尘实验光学平台下测得的镜面标准块的数值，轮廓数200000，积分时间200μs，手动调光信号强度至20%。
*②此时量程为全量程的1/8
*③此速率下X方向扫描点数为1024点，2048点时全量程扫描速率为2500Hz
*所有技术指标以官方最新发布的产品数据手册为准
*最终解释权归海伯森所有
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