先进智造下，智能传感器产业发展--广东

导读：广东制造业在“十三五”期间取得长足进步。省工信厅党组成员、副厅长吴东文介绍，2020年广东规模以上工业增加值达3.31万亿元，规上工业企业达5.4万家，新一代电子信息、绿色石化、家电等万亿产业集群在全国占据重要位置，制造强省建设取得积极成效。“十四五”期间，广东将围绕打造新发展格局战略支点，建设全球先进制造业基地和产业创新高地，巩固工业在经济体系中的支柱地位，制造业占GDP比重保持在30%的水平。

       近年来，广东省出台了一系列政策支持发展先进、智能传感器，目前主要以广州、深圳中心城市为主并形成了一定的产业规模。

       2020年9月，广东省智能传感器产业园正式启动，明确广东省智能传感器产业园以广州开发区为试点，推动智能传感器技术创新，促进智能传感器产业集群发展。

       2021年8月，广东省政府正式发布《广东省制造业高质量发展“十四五”规划》(以下简称《规划》)。梳理《规划》内容不难发现，对于智能传感器产业的布局，广深两市被寄予厚望。

       另外，《规划》指出，在芯片设计方面，广州重点发展智能传感器、射频滤波器、第三代半导体，建设综合性集成电路产业聚集区；芯片制造方面，广州以硅基特色工艺晶圆代工线为核心，布局建设12英寸集成电路制造生产线，深圳定位28纳米及以下先进制造工艺和射频、功率、传感器、显示驱动等高端特色工艺，推动现有芯片制造生产线产能和技术水平提升；在封测方面，广州发展器件级、晶圆级MEMS封装和系统级测试技术等。

       产业集聚和规模根据前瞻产业研究院梳理，截至2021年9月，广东省企业中，企业名称或者经营范围内含有“智能传感器”的大中小企业共79212家。按注册资本划分，注册资本在100万以下的企业有21238家，100-500万的有31787家，500-1000万的有12536家，1000万以上的有13542家，占比分别为26.85%、40.18%、15.85%以及17.12%。

广东省智能传感器产业园

       2020年9月，广东省、广州市、广州开发区三级联动启动共建广东智能传感器产业园，这是广东省内首个传感器产业园。以广州开发区为试点，力争5年内建成立足粤港澳大湾区辐射全国、具有国际影响力的智能传感器产业集聚区。

       广东智能传感器产业园位于广州人工智能与数字经济试验区（鱼珠片区）北侧，总占地面积约10.79万㎡，建筑面积49.8万㎡，总投资26.8亿元。

       成立一年后，广东智能传感器产业园已拔地而起，首批功能性建筑“粤港澳大湾区智能传感器产业园运营中心”已于今年6月28日投入使用。2021年11月广东智能传感器产业园一期项目主体结构封顶，进入快速推进阶段。

       另外，2021年11月2日，第24届中国集成电路制造年会上，由兴橙资本作为发起人组建的湾区智能传感器产业集团举行成立仪式。集团计划注册资本100亿元，在海外购买IMEC技术授权，将上海乃至全球的先进传感器技术在大湾区应用推广。集团将快速打造核心产业平台，建设对标世界先进水平的12英寸MEMS传感器量产线、12英寸晶圆级MEMS传感器封装和SIP系统级传感器封测量产线，在增城南香山打造千亩空间的产业园。

       产业生态建设 目前，广东省智能传感器产业发展中，涌现出多个代表性机构和骨干企业，涵盖研究开发、材料元件、设计制造、应用终端等、逐渐形成“主体集中、区域集聚、技术先进、应用繁荣”的产业链圈。

       其中，根据官方数据，广州开发区内拥有金发科技等传感器基础材料企业超10家，拥有国家纳米科学中心纳米智能传感器项目及其量产的6寸压电IDM晶圆产线、南方电网总部及其数字电网研究院、广东省目前唯一量产的12英寸芯片虚拟IDM项目粤芯半导体、全球CTP行业龙头企业爱司凯、国内领先的MEMSIDM传感器公司奥松电子等传感器设计制造和封装测试企业15家，以及传感器应用终端企业70家以上，如专注于机器视觉精密测量和工业自动化技术的研发创新企业海伯森技术等。

主要研发机构

（以下是不完全名单）

中国科学院深圳先进技术研究院

       根据中央建设创新型国家的总体战略目标和国家中长期科技发展规划纲要，结合中国科学院科技布局调整的要求，围绕深圳市实施创新型城市战略，2006年2月，中国科学院、深圳市人民政府及香港中文大学友好协商，在深圳市共同建立中国科学院深圳先进技术研究院（以下简称“深圳先进院”），实行理事会管理，探索体制机制创新。

深圳清华大学研究院

       重点研究方向：力敏传感器、生物传感器、红外传感器、微纳传感器等

       由深圳市政府和清华大学联合建立，是一个高层次、综合性、开放式的产学研实体，我国华南地区科技创新的很重要基地。清华研究院平均每年申报专利100项，超过15项成果实现产业化，直接由技术创新产生的价值超过10亿元。

营商环境

       优化营商环境是激发市场主体活力的关键，广东近年来持续推进营商环境改革，进一步瞄准最高标准、最高水平开展先行先试，在打造市场化法治化国际化营商环境上形成了可复制可推广的“广东经验”。

       《2021年广东省营商环境评价报告》显示，广州、深圳为全省标杆，两市纳入首批国家营商环境创新试点城市。作为传感器产业重点布局的城市，广州在2020年国家营商环境评价中广州市位居全国前列，全部18个指标获评全国标杆；在广东省营商环境评价中位居第一；近日华南美国商会发布的年度调查报告显示，广州连续4年被受访企业列为最热门的投资城市。

       创新活力和人才资源 广东人才和科技综合实力一直处在全国前列且不断增强。据科技部组织编写的《中国科技人才发展报告2020》（下称“报告”）显示，2019年，广东R&D人员达80.3万人年，居全国首位，超过西部12省份之和，是东北三省总量的4.3倍。

       另外，据2020年《中国城市科技创新发展报告》显示，广东省内深圳、广州、珠海、东莞、佛山、中山、江门、惠州、肇庆、汕头10地的科技创新发展指数均高于全国0.3325的平均值。其中，深圳市和广州市均位全国前列。2020年，中国社科院与经济日报发布《中国城市竞争力第18次报告》中，深圳名列前茅，广州紧跟其后。广东省内其他城市在报告中也有不俗的表现。

       随着对高端人才求贤若渴，广东各地的人才政策不断转向打造“一站式”贴心配套服务的组合拳。广东在省人才服务局设立广东省高层次人才服务专区（加挂中央“国家高级人才计划”广东省服务窗口），为包括来粤科研工作的海内外高层次人才在内的院士、领军人才、国家“国家高级人才计划”专家等符合条件的12类高层次人才提供26项“一站式”政务服务。

       专项扶持政策 2020年9月，黄埔区、广州开发区出台《广州市黄埔区、广州开发区、广州高新区促进智能传感器产业化发展若干措施》（简称“智能传感器20条”）。该措施也是粤港澳大湾区首个区县级智能传感器产业专项政策。

       据悉，“智能传感器20条”在技术、应用、产业、平台、人才等方面加大对智能传感器倾斜支持力度。

       其中，研发费最高可获100万元补助；技术交易中涉及专利转让且包含核心技术发明专利并在本区实现转化的每年最高可获1000万元奖励；企业打造国家级实验室、国家工程技术研究中心、国家企业技术中心等最高可获奖励300万元。

       在MEMS制造新动能上，“智能传感器20条”以MEMS产业为核心，加快智能传感器设计、制造、封装、测试等多环节协调合作发展，鼓励智能传感器设计、制造、封测和应用环节龙头及配套企业落地生根。落户奖励最高1000万元；对产值1亿元以上且同比增长10%以上的智能传感器制造型企业给予最高5000万元奖励。

       此外，“智能传感器20条”还鼓励智能传感器与工业互联网融合关键技术和设备研发及规模应用，如机械臂、AGV导航车、AOI检测等智能传感器设备在工业生产、搬运、检测、维护等领域应用。对国家、省工信部门认定的智能制造试点示范项目企业最高给予200万元奖励，对获得市级以上产业发展扶持的，最高奖励500万元。

       顺应地方政策管理，海伯森坚持技术创新和助力实现高端传感器的国产化替代，在机械臂末端控制应用上，自主研发六维力传感器HPS-FT系列，实现高端工业生产的柔性装配和超精密力控打磨。在机器视觉定位识别上，海伯森创新推出宽视野3D面阵固态激光雷达HPS-3D系列，实现AGV导航车搬运和作业的区域安全避障，除此之外，荣获第二十二届高交会优秀创新产品奖的超高速工业相机HPS-HC系列，可以应用于产线来料高速运动检测和读码分析。在AOI检测领域，海伯森独树一帜，突破国外“卡脖子”技术，研发出中国首台3D线光谱共焦传感器，并在实现量产后迅速开拓HPS-LCF产品系列，另外，光谱共焦位移传感器HPS-CF系列获得恰佩克工业零部件模块的创新产品奖。未来，海伯森将推出更多高性能的智能传感器产品，为国产传感器产业发展贡献力量；通过身体力行，为广东省智能传感器中小企业发展提供经验和借鉴。