光谱共焦传感器的两种测量模式

光谱共焦测量技术通过分析不同波长光在特定表面的焦点位置，进行高精度尺寸测量和微观形态分析。它可以同时获得样品的光学图像和光谱信息，可以用于微观尺度下的成分分析和结构表征。在实际应用中，光谱共焦传感器有多种测量模式，其中包括位移测量模式和厚度测量模式。

1.位移测量模式

位移测量模式输出z方向的高度值，读取XY的位移量，直接输出点云坐标。该模式与三坐标、结构光、激光三角等测量方法相一致，不同之处在于光谱共焦支持反射面的测量，具有亚微米级的测量精度。

位移量测模式适用于大多数精确尺寸量测场景，您可以选取点、线和面的量测样本。点测量适用于测量物体的振动和液体的高度，输出不同时刻的z方向的值来辅助分析。线性测量可连续记录运动样本表面的z方向值，用于断差检测和2D尺寸分析。面测量提供样品表面的完整三维形态数据，可以进行综合粗糙度等项目的分析。

2.厚度测量模式

当测量透明样本（如玻璃和透镜）时，两种不同波长的光将聚焦于样本的正面和背面，引入样本的折射率参数，然后可以计算样本的厚度值。与游标卡尺等传统接触式测量工具相比，光谱共焦测量具有所有非接触式光学测量的优点，同时还具有单侧测量可获取样品厚度值的特性。

因为折射率直接影响厚度测量的数据精度，开始测量时要确认样品的折射率。折射率可以参考同种材料的数值，但为了得到更高精度的厚度测量结果，需要用折射率计测量样品的折射率。

总的来说，光谱共焦传感器的位移测量模式和厚度测量模式是其常见的两种测量模式。位移测量模式主要用于测量样品表面的微小位移和结构的微小变化，而厚度测量模式主要用于测量样品的厚度和薄膜的厚度分布。这两种测量模式在材料科学、生物医学、纳米技术等领域中有着广泛的应用。