线长5.9mm，量程3mm，Z轴重复性0.1μm
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线长5.9mm，量程2.4mm，Z轴重复性0.2μm
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重复性0.4μm 2σ，最小可测刀具直径Φ20µm，最高对刀专属（主轴转速）200,000rpm
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线长13mm，量程6mm，Z轴重复性0.15μm
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重复性0.3μm 2σ，最小可测刀具直径Φ20µm，最高对刀转速（主轴转速）200,000rpm
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160*60，0.25~8m，FOV:76*32deg
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Φ94mm，9.09±1.2mm，±62°
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2路PNP/NPN光耦隔离输出，2000Hz开关频率
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120mm超大检测空间，2kHz超高检测频率
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粤公网安备44030602003691号